程控高精度勻膠機

產品介紹：

名  稱：程控高精度勻膠機

型  號：SC100-SE

應  用：程控高精度勻膠機，是一種超高轉速精度，并帶有真空數顯傳感器和水平數顯傳感器的高精密高檔勻膠設備。

產品概述：

　　SC100-SE程控勻膠機是一種超高轉速、高精度的旋轉勻膠設備，并帶有真空數顯傳感器和水平數顯傳感器，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。
　　不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業級別200瓦伺服電機系統，采用與track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類產品中大達到50000RPM/S的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩定性和*的可重復性。

性能參數：

l  主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）

l  旋涂程序：可擴展編輯和存貯到無限程序步驟

l  轉動速度：0-10,000rpm

l  旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

l  轉速精度達到±0.1rpm，超高轉速穩定性；

l  工藝時間設定： 0-3,000 sec/step

l  時間設置精度：0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-200mm（8"圓晶）

l  旋涂作業均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）

產品特點：

l  內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。

l  7"觸屏控制面板操作系統，更方便操作。

l  Telon ®/polyethylene “密閉碗"設計可適合各種材料勻膠工藝。

l  采用工業級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。

l  機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，生銹，便于清洗。

l  透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時*隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。

l  數顯真空壓力傳感器，真空值數字顯示，壓力開關值可設置；

l  數顯水平度傳感器，實時顯示載物盤面的水平度，可通過底腳進行調節；

l  自帶四個自動點膠端口，更多端口控制可升級。

產品外型尺寸：
      433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設備結構

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